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電廠在線硅/磷表多通道
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電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測(cè)是保障超純水(UPW)品質(zhì)的核心設(shè)備,主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)水中硅酸根離子(SiO?²?)的痕量殘留,防止硅污染導(dǎo)致的芯片良率下降,其檢測(cè)下限可至0~200μg/L,精度達(dá)±2%FS,并支持至多6通道檢測(cè),通過(guò)實(shí)時(shí)硅離子數(shù)據(jù)反饋,可聯(lián)動(dòng)水處理系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整反滲透(RO)和離子交換工藝,確保硅含量≤0.1mg/L。
鍋爐水冷凝水循環(huán)水在線硅酸根分析儀是一種實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鍋爐水、冷凝水及循環(huán)水中硅酸根(SiO?²?)含量的水質(zhì)分析儀器,其核心功能在于預(yù)防硅酸鹽結(jié)垢、儀器采用光電比色法原理,具有自動(dòng)溫度補(bǔ)償、恒溫反應(yīng)及光電計(jì)量加藥的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于電廠、石化廠、電子半導(dǎo)體廠中的鍋爐給水、凝結(jié)水、循環(huán)水系統(tǒng)。
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